Alarm系统通过对设备的报警信息进行记录分析，并根据设定的Alarm频率触发规则，Repeat Alarm触发Hold Equipment、Hold Lot及操作，同时可通过E-mail/短信等方式及时提醒。Alarm系统还可以监控设备报警数据，做到提前预警、及时检修，提高设备利用率；
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